冷凝器氦检漏设备的维护方法及常见故障的处理
2024.07.31
冷凝器氦检漏设备是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器，它具有性能稳定、灵敏度高的特点。是真空检漏技术中灵敏度较高，用得较普遍的检漏仪器。
冷凝器氦检漏设备由离子源、分析器、收集器、冷阴及电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。
科技信息化不断更新迭代的市场，冷凝器氦检漏设备的应用技术也在不断发展和完善。一方面过去的氦质谱检漏仪不能满足现阶段的一个需求，而且对检漏仪提出新要求的情况下，检漏仪设备被迫更新，另一方面每个行业的不足都在进步的过程，缺陷与不足相互补充，相互促进。而现在的氦质谱检漏仪早已告别了四五十年代的初期情形，在性能和领域上都有新的突破。
冷凝器氦检漏设备进展集中体现如下方面：
1.智能化：以往的冷凝器氦检漏设备操作非常辅助，而现在的触屏式，自动检测。
2.便捷化：这几年市场上各种小型便捷的检漏仪能够为行业提供小巧而灵敏性高的设备。
3.自动化程度高：自动校准氦峰，自动调节零点，量程自动转换，自动数据处理，可外接打印机。整机由微机控制，菜单的选择功能，一个按钮即可完成一次的全检漏过程。
4.全无油的干式检漏：有些生产的检漏仪，可采用干式泵，达到无油蒸气的效果，为无油系统及芯片等半导体器件的检漏，提供了有利条件。
5.检漏范围宽：现今生产的四级检漏仪，质量范围很宽，不仅可检测氦气，而且能检测其它气体。
